適用設備：富臨、聚昌、倍強、CHA、Showa
2-5インチ平面設置式ウェハー回転ホルダー
2-8インチ各寸法背面設置式基板ホルダー
2-8インチ背面設置式ウェハーリング
2、3インチウェハースプリング / 2~8インチ各寸法平面設置式基板ホルダー
2~8インチ各寸法平面設置式基板ホルダー
2~8インチ背面設置式ウェハーリングカバー
EGL-35M&206Mハースデッキカバー
Metal-mask-アルミニウム合金Holder
一体成形軸心(軸心の変形がない強化型)
二次側電子吸収板
ヒーター灯ボックス
各種チャンバーライナー、ステンレス製
各タイプ各弾力係数のスプリングクランプ
